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1
Rotatable substrate support having radio frequency applicator
von
Lubomirsky, Dmitry
,
Hanawa, Hiroji
,
Kobayashi, Satoru
,
Floyd, Kirby Hane
,
Park, Soonam
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2
ROTATABLE SUBSTRATE SUPPORT HAVING RADIO FREQUENCY APPLICATOR
von
HANAWA Hiroji
,
PARK Soonam
,
KOBAYASHI Satoru
,
LUBOMIRSKY Dmitry
,
FLOYD Kirby HANE
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Patent
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3
ROTATABLE SUBSTRATE SUPPORT HAVING RADIO FREQUENCY APPLICATOR
von
KOBAYASHI SATORU
,
LUBOMIRSKY DMITRY
,
FLOYD KIRBY HANE
,
PARK SOONAM
,
HANAWA HIROJI
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Patent
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4
Wafer rotation in a semiconductor chamber
von
Nguyen Tuan Anh
,
Rocha-Alvarez Juan Carlos
,
Du Bois Dale R
,
Kim Robert
,
Floyd Kirby Hane
,
Bansal Amit Kumar
,
Balasubramanian Ganesh
,
Sankarakrishnan Ramprakash
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Patent
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5
WAFER ROTATION IN A SEMICONDUCTOR CHAMBER
von
ROCHA ALVAREZ JUAN CARLOS
,
DU BOIS DALE R
,
NGUYEN TUAN ANH
,
FLOYD KIRBY HANE
,
SANKARAKRISHNAN RAMPRAKASH
,
BANSAL AMIT KUMAR
,
BALASUBRAMANIAN GANESH
,
KIM ROBERT
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6
WAFER ROTATION IN A SEMICONDUCTOR CHAMBER
von
DU BOIS DALE R
,
NGUYEN TUAN ANH
,
FLOYD KIRBY HANE
,
SANKARAKRISHNAN RAMPRAKASH
,
BANSAL AMIT KUMAR
,
BALASUBRAMANIAN GANESH
,
ROCHA-ALVAREZ JUAN CARLOS
,
KIM ROBERT
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7
Plasma processing system
von
KOBAYASHI SATORU
,
LUBOMIRSKY DMITRY
,
FLOYD KIRBY HANE
,
PARK SOONAM
,
KENNEY JASON A
,
HANAWA HIROJI
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8
WAFER ROTATION IN A SEMICONDUCTOR CHAMBER
von
ROCHA ALVAREZ JUAN CARLOS
,
DU BOIS DALE R
,
NGUYEN TUAN ANH
,
FLOYD KIRBY HANE
,
SANKARAKRISHNAN RAMPRAKASH
,
BANSAL AMIT KUMAR
,
BALASUBRAMANIAN GANESH
,
KIM ROBERT
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