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    Design, operation mode, and stress control capability of S-Gun magnetron for ac reactive sputtering

    Design, operation mode, and stress control capability of S-Gun magnetron for ac reactive sputtering von Felmetsger, V.V., Laptev, P.N., Tanner, S.M.

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    Crystal orientation and stress in AC reactively sputtered AlN films on Mo electrodes for electro-acoustic devices

    Crystal orientation and stress in AC reactively sputtered AlN films on Mo electrodes for electro-acoustic devices von Felmetsger, V.V., Laptev, P.N., Tanner, S.M.


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