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Evaporative ion plating: process mechanisms and optimization
Veröffentlicht in IEEE transactions on plasma science
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Determination of electron temperature in ion plating discharges by optical emission spectroscopy
Veröffentlicht in Vacuum
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Ion plating discharges: evidence of cluster formation during metal evaporation
Veröffentlicht in Thin solid films
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Ionization in plasma-assisted physical vapour deposition systems
Veröffentlicht in Surface & coatings technology
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Some fundamental aspects of glow discharges in plasma-assisted processes
Veröffentlicht in Surface & coatings technology
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Ion plating processes: Design criteria and system optimization
Veröffentlicht in Surface & coatings technology
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