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Plasma immersion ion implantation for SOI synthesis : SIMOX and ion-cut
Veröffentlicht in Journal of electronic materials
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Effective Visible Emission from Porous Silicon
Veröffentlicht in Chinese physics letters
VolltextArtikel -
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Ion-cut silicon-on-insulator fabrication with plasma immersion ion implantation
Veröffentlicht in Applied physics letters
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