-
1
-
2
-
3
-
4
-
5
-
6
-
7
-
8
Development of a low-cost micro-CMM for 3D micro/nano measurements
Veröffentlicht in Measurement science & technology
VolltextArtikel -
9
-
10
-
11
-
12
Development of a low-cost autofocusing probe for profile measurement
Veröffentlicht in Measurement science & technology
VolltextArtikel -
13
-
14
-
15
-
16
The development of a low-cost focusing probe for profile measurement
Veröffentlicht in Measurement science & technology
VolltextArtikel -
17
-
18
-
19
Abbe error compensation for a micro/nano CMM with a coplanar stage
Veröffentlicht in Journal of physics. Conference series
VolltextArtikel -
20