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A highly reliable ferroelectric memory technology with SrBi/sub 2/Ta/sub 2/O/sub 9/-based material and metal covering cell structure
von
Fajii, E.
,
Judai, Y.
,
Ito, T.
,
Kutsunai, T.
,
Nagano, Y.
,
Noma, A.
,
Nasu, T.
,
Izutsu, Y.
,
Mikawa, T.
,
Yasuoka, H.
,
Azuma, M.
,
Shimada, Y.
,
Sasai, Y.
,
Sato, K.
,
Otsuki, T.
Veröffentlicht in
IEEE transactions on electron devices
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A highly reliable ferroelectric memory technology with SrBi2 Ta2O9-based material and metal covering cell structure
von
Fajii, E
,
Judai, Y
,
Ito, T
,
Kutsunai, T
,
Nagano, Y
,
Noma, A
,
Nasu, T
,
Izutsu, Y
,
Mikawa, T
,
Yasuoka, H
,
Azuma, M
,
Shimada, Y
,
Sasai, Y
,
Sato, K
,
Otsuki, T
Veröffentlicht in
IEEE transactions on electron devices
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