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Chemical and Structural Investigation of High-Resolution Patterning with HafSOx
von
Oleksak, Richard P
,
Ruther, Rose E
,
Luo, Feixiang
,
Fairley, Kurtis C
,
Decker, Shawn R
,
Stickle, William F
,
Johnson, Darren W
,
Garfunkel, Eric L
,
Herman, Gregory S
,
Keszler, Douglas A
Veröffentlicht in
ACS applied materials & interfaces
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2
"Off-on" aggregation-based fluorescent sensor for the detection of chloride in water
von
Watt, Michelle M
,
Engle, Jeffrey M
,
Fairley, Kurtis C
,
Robitshek, Timothy E
,
Haley, Michael M
,
Johnson, Darren W
Veröffentlicht in
Organic & biomolecular chemistry
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3
Non-uniform Composition Profiles in Inorganic Thin Films from Aqueous Solutions
von
Fairley, Kurtis C
,
Merrill, Devin R
,
Woods, Keenan N
,
Ditto, Jeffrey
,
Xu, Can
,
Oleksak, Richard P
,
Gustafsson, Torgny
,
Johnson, Darren W
,
Garfunkel, Eric L
,
Herman, Gregory S
,
Johnson, David C
,
Page, Catherine J
Veröffentlicht in
ACS applied materials & interfaces
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4
Sub-30 keV patterning of HafSOx resist: Effects of voltage on resolution, contrast, and sensitivity
von
Fairley, Kurtis C.
,
Sharps, Meredith C.
,
Mitchson, Gavin
,
Ditto, Jeffrey
,
Johnson, Darren W.
,
Johnson, David C.
Veröffentlicht in
Journal of vacuum science and technology. B, Nanotechnology & microelectronics
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5
"Off-on" aggregation-based fluorescent sensor for the detection of chloride in waterElectronic supplementary information (ESI) available: Synthesis and spectroscopic data of 3, 1,...
von
Watt, Michelle M
,
Engle, Jeffrey M
,
Fairley, Kurtis C
,
Robitshek, Timothy E
,
Haley, Michael M
,
Johnson, Darren W
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6
Chemical and structural investigation of high-resolution patterning with HafSO(x)
von
Oleksak, Richard P
,
Ruther, Rose E
,
Luo, Feixiang
,
Fairley, Kurtis C
,
Decker, Shawn R
,
Stickle, William F
,
Johnson, Darren W
,
Garfunkel, Eric L
,
Herman, Gregory S
,
Keszler, Douglas A
Veröffentlicht in
ACS applied materials & interfaces
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Journal Of Vacuum Science And Technology. B, Nanotechnology & Microelectronics
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Haadf-Stem
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Hafnium Oxide
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Von:
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Science Citation Index Expanded (Web Of Science)
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Acs Publications
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3
Royal Society Of Chemistry Journals 2008-
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Medline
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Elektronische Zeitschriftenbibliothek - Frei Zugängliche E-Journals
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Royal Society Of Chemistry Journals Archive (1841-2007)
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Aip Journals Complete
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