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Arsenic implantation to oxide filled trench isolation structure
Veröffentlicht in Applied physics letters
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Depth profiles of boron atoms with large tilt-angle implantations
Veröffentlicht in Journal of the Electrochemical Society
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Electrical properties of Si heavily implanted with boron molecular ions
Veröffentlicht in Journal of applied physics
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Electrical properties of Si implanted with As through SiO2 films
Veröffentlicht in Journal of applied physics
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