Enhanced Performance of PMOS MUGFET via Integration of Conformal Plasma-Doped Source/Drain Extensions von Lenoble, D., Anil, K., De Keersgieter, A., Eybens, P., Collaert, N., Rooyackers, R., Brus, S., Zimmerman, P., Goodwin, M., Vanhaeren, D., Vandervorst, W., Radovanov, S., Godet, L., Cardinaud, C., Biesemans, S., Skotnicki, T., Jurczak, M.

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B-2: A J. W. Breithauptio, Jan. Broukhusio Amstelod., P. Burmanno, Th. Burneto, M. v. de la Croze, J. G. Eckhardi, C. W. Eyben

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