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Resistance Analysis of Spherical Metal Thin Films Combining Van Der Pauw and Electromechanical Nanoindentation Methods
von
Bazilchuk, Molly
,
Evenstad, Otto Magnus
,
Zhang, Zhiliang
,
Kristiansen, Helge
,
He, Jianying
Veröffentlicht in
Journal of electronic materials
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Resistance Analysis of Spherical Metal Thin Films Combining Van Der Pauw and Electromechanical Nanoindentation Methods
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Bazilchuk, Molly Strimbeck
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Evenstad, Otto Magnus
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Zhang, Zhiliang
,
Kristiansen, Helge
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