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Influence of the annealing schemes on the formation and stability of Ni(Pt)Si thin films: partial, laser, total, and unique anneal
von
Morris Anak, Fabriziofranco
,
Campos, Andrea
,
Gregoire, Magali
,
Estellon, Adrien
,
Lombard, Marc
,
Guyot, Thomas
,
Guillemin, Sophie
,
Mangelinck, Dominique
Veröffentlicht in
Materials science in semiconductor processing
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Influence of the annealing schemes on the formation and stability of Ni(Pt)Si thin films: Partial, laser, total, and one-step annealings
von
Morris Anak, Fabriziofranco
,
Campos, Andréa
,
Grégoire, Magali
,
Estellon, Adrien
,
Lombard, Marc
,
Guyot, Thomas
,
Guillemin, Sophie
,
Mangelinck, Dominique
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Elsevier Sciencedirect Journals Complete
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Sd College Edition Journals Collection - Physical Sciences [Scps]
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Ingentaconnect 期刊(Nstl购买)
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