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    Improvement on the electrical characteristics of Pd/HfO2/6H-SiC MIS capacitors using post deposition annealing and post metallization annealing

    Improvement on the electrical characteristics of Pd/HfO2/6H-SiC MIS capacitors using post deposition annealing and post metallization annealing von Esakky, Papanasam, Kailath, Binsu J

    Veröffentlicht in Applied surface science

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