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    HVPE growth of AlN on trench- patterned 6H-SiC substrates

    HVPE growth of AlN on trench- patterned 6H-SiC substrates von Okumura, Kenta, Nomura, Takuya, Miyake, Hideto, Hiramatsu, Kazumasa, Eryuu, Osamu

    Veröffentlicht in Physica status solidi. C

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