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1
Recombination enhanced suppression of deep trap accumulation in silicon during He + ion implantation
von
Erokhin, Yu.N.
,
Ravi, J.
,
White, C.W.
,
Rozgonyi, G.A.
Veröffentlicht in
Nuclear instruments & methods in physics research. Section B, Beam interactions with materials and atoms
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2
Photostimulated defect-impurity reactions during ion bombardment of Si
von
Danilin, A.B.
,
Erokhin, Yu.N.
,
Mordkovich, V.N.
Veröffentlicht in
Nuclear instruments & methods in physics research. Section B, Beam interactions with materials and atoms
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3
Athermal nature of impact exerted by ultraviolet radiation on the accumulation of radiation defects during ion implantation into silicon
von
Danilin, A.B.
,
Erokhin, Yu.N.
,
Mordkovich, V.N.
,
Hatzopoulos, N.
,
Hemment, P.L.F.
Veröffentlicht in
Nuclear instruments & methods in physics research. Section B, Beam interactions with materials and atoms
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4
Mesotaxy by nickel diffusion into a buried amorphous silicon layer
von
Erokhin, Yu.N.
,
Grötzschel, R.
,
Oktyabrsky, S.R.
,
Roorda, S.
,
Sinke, W.
,
Vyatkin, A.F.
Veröffentlicht in
Materials science & engineering. B, Solid-state materials for advanced technology
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5
The peculiarities of the new phase formation by O + ion implantation into silicon under thermo-ionization excitation
von
Belogorokhov, A.I.
,
Danilin, A.B.
,
Erokhin, Yu.N.
,
Kalinin, A.A.
,
Mordkovich, V.N.
,
Saraikin, V.V.
,
Khodos, I.I.
Veröffentlicht in
Nuclear instruments & methods in physics research. Section B, Beam interactions with materials and atoms
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