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OES diagnostics as a universal technique to control the Si etching structures profile in ICP
von
Osipov, Artem A.
,
Iankevich, Gleb A.
,
Speshilova, Anastasia B.
,
Gagaeva, Alina E.
,
Osipov, Armenak A.
,
Enns, Yakov B.
,
Kazakin, Alexey N.
,
Endiiarova, Ekaterina V.
,
Belyanov, Ilya A.
,
Ivanov, Viktor I.
,
Alexandrov, Sergey E.
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Scientific reports
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2
Annealing Temperature Effect on the Physical Properties of NiO Thin Films Grown by DC Magnetron Sputtering
von
Timoshnev, Sergei
,
Kazakin, Alexey
,
Shubina, Ksenia
,
Andreeva, Valentina
,
Fedorenko, Elizaveta
,
Koroleva, Aleksandra
,
Zhizhin, Evgeniy
,
Koval, Olga
,
Kurinnaya, Alina
,
Shalin, Alexander
,
Bobrovs, Vjaceslavs
,
Enns, Yakov
Veröffentlicht in
Advanced materials interfaces
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3
In situ diagnostics of the Si etching structures profile in ICP SF6/C4F8 plasma: Macrostructures
von
Osipov, Artem
,
Gagaeva, Alina
,
Speshilova, Anastasia
,
Osipov, Armenak
,
Enns, Yakov
,
Kazakin, Alexey
,
Endiiarova, Ekaterina
,
Kornilov, Roman
,
Alexandrov, Sergey
Veröffentlicht in
Journal of vacuum science & technology. A, Vacuum, surfaces, and films
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4
Characterization of the p-NiO/n-GaN heterojunction and development of ultraviolet photodiode
von
Enns, Yakov
,
Timoshnev, Sergei
,
Kazakin, Alexey
,
Shubina, Ksenia
,
Uvarov, Alexander
,
Vorobyev, Alexander
,
Nikitina, Ekaterina
,
Mizerov, Andrey
,
Andreeva, Valentina
,
Fedorenko, Elizaveta
,
Koroleva, Alexandra
,
Zhizhin, Evgeniy
Veröffentlicht in
Materials science in semiconductor processing
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Artikel
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5
Annealing Temperature Effect on the Physical Properties of NiO Thin Films Grown by DC Magnetron Sputtering (Adv. Mater. Interfaces 9/2024)
von
Timoshnev, Sergei
,
Kazakin, Alexey
,
Shubina, Ksenia
,
Andreeva, Valentina
,
Fedorenko, Elizaveta
,
Koroleva, Aleksandra
,
Zhizhin, Evgeniy
,
Koval, Olga
,
Kurinnaya, Alina
,
Shalin, Alexander
,
Bobrovs, Vjaceslavs
,
Enns, Yakov
Veröffentlicht in
Advanced materials interfaces
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6
Numerical Simulation of CVD Reactor for Oxide Semiconductor Layer Deposition
von
Kleimanov, Roman
,
Korshunov, Andrey
,
Kondrateva, Anastasia
,
Karaseov, Platon
,
Mishin, Maxim
,
Enns, Yakov
,
Komarevtsev, Ivan
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7
Influence of Contact Material on Photoinduced Current Flow in Si/TiO2/GNPs/TiO2 Nanocomposites
von
Vorobyev, Alexandr
,
Enns, Yakov
,
Kondrateva, Anastasia
,
Bespalova, Polina
,
Komarevtsev, Ivan
,
Mishin, Maxim
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8
Gold Nanoparticle Array Formation by Low-Temperature Annealing
von
Bespalova, Polina
,
Enns, Yakov
,
Kunkel, Tatyana
,
Balanov, Vasilii
,
Speshilova, Anastasiya
,
Vorobyev, Alexandr
,
Mishin, Maxim
,
Karaseov, Platon
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9
METHOD FOR PROCESSING ARSENIC-BEARING WASTES HIGH-PHOSPHORUS CAST IRON
von
LIPOVSKAYA KLAVDIYA P,SU
,
KOZMIN YURIJ A,SU
,
DYUJSEKINA ANASTASIYA A,SU
,
BAGAEV IVAN S,SU
,
KULENOVA LILIYA N,SU
,
KONKOVA FAINA S,SU
,
KULENOV AKHAT S,SU
,
FIRMAN ILYA A,SU
,
SERBA NIKOLAJ G,SU
,
ENNS IVAN I,SU
,
BEJLIN YAKOV Z,SU
,
SLOBODKIN LEONID V,SU
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Patent
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10
METHOD FOR PROCESSING ARSENIC-CONTAINING MATERIALS
von
KOPYLOV NIKOLAJ I,SU
,
LIPOVSKAYA KLAVDIYA P,SU
,
LIPKIN SERGEJ V,SU
,
KULENOVA LILIYA N,SU
,
SERBA NIKOLAJ G,SU
,
CHUCHALIN LEV K,SU
,
PASHKOV GENADIJ L,SU
,
OGNEV YURIJ G,SU
,
KOZMIN YURIJ A,SU
,
BAGAEV IVAN S,SU
,
KULENOV AKHAT S,SU
,
FIRMAN ILYA A,SU
,
ENNS IVAN I,SU
,
BEJLIN YAKOV Z,SU
,
SLOBODKIN LEONID V,SU
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Patent
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Casalini Torrossa Ebook Single Purchase
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Wiley Online Library All Journals
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