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    Impact of preparation conditions on the properties of materials for replica stamps

    Impact of preparation conditions on the properties of materials for replica stamps von Papenheim, Marc, Eidemüller, Wolfgang, Steinberg, Christian, Mayer, Andre, Scheer, Hella-Christin


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    Reducing the risk of failure with flexible composite stamps

    Reducing the risk of failure with flexible composite stamps von Papenheim, Marc, Eidemüller, Wolfgang, Wang, Si, Steinberg, Christian, Scheer, Hella-Christin

    Veröffentlicht in Microelectronic engineering

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    Stability of flexible composite stamps with thermal nanoimprint

    Stability of flexible composite stamps with thermal nanoimprint von Papenheim, Marc, Eidemüller, Wolfgang, Steinberg, Christian, Mayer, Andre, Götz, Johannes, Nees, Dieter, Scheer, Hella-Christin


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