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Amorphous Boron containing silicon carbo-nitrides created by ion sputtering
Veröffentlicht in Surface & coatings technology
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Ionized physical vapor deposition (IPVD): A review of technology and applications
Veröffentlicht in Thin solid films
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Influence of high power densities on the composition of pulsed magnetron plasmas
Veröffentlicht in Vacuum
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