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A fabrication process for self-connected horizontal SiGe nanowires
Veröffentlicht in Microelectronic engineering
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A damascene platform for controlled ultra-thin nanowire fabrication
Veröffentlicht in Nanotechnology
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Selective palladium electrochemical deposition onto AFM-scratched silicon surfaces
Veröffentlicht in Electrochimica acta
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A hybrid CMOS–SET co-fabrication platform using nano-grain polysilicon wires
Veröffentlicht in Microelectronic engineering
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Low-pressure chemical vapour deposition of nanograin polysilicon ultra-thin films
Veröffentlicht in Nanotechnology
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