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A novel topology for pulse generators in magnetron sputter systems
von
Gueldner, H.
,
Wolf, H.
,
Eckholz, F.
,
Schrade, F.
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A voltage regulator module (VRM) application for a switched mode power supply (SMPS)
von
Guldner, H.
,
Eckholz, F.
,
Wolf, H.
,
Losansky, J.
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3
Verfahren und Schaltungsanordnung zur pulsfoermigen Energieeinspeisung in Magnetronentladungen
von
Goedicke, K
,
Winkler, T
,
Junghaehnel, M
,
Handt, K
,
Gueldner, H
,
Wolf, H
,
Eckholz, F
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Ieee Electronic Library (Iel) Conference Proceedings
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Ieee Power & Energy Library
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Ieee Electronic Library (Iel)
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Fraunhofer-Eprints - Ft
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Fraunhofer-Eprints
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