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SUPERVISORY CONTROL OF RADIO FREQUENCY (RF) IMPEDANCE TUNING OPERATION
von
COUMOU, David J
,
REINHARDT, Ross
,
ELNER, Yuiry
,
GILL, Daniel M
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Supervisory Control Of Radio Frequency (RF) Impedance Tuning Operation
von
COUMOU David J
,
REINHARDT Ross
,
ELNER Yuiry
,
GILL Daniel M
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3
FEEDBACK CONTROL BY RF WAVEFORM TAILORING FOR ION ENERGY DISTRIBUTION
von
COUMOU, David J
,
REINHARDT, Ross
,
ELNER, Yuiry
,
GILL, Daniel M
,
PHAM, Richard
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4
Supervisory control of radio frequency (RF) impedance tuning operation
von
REINHARDT ROSS
,
ELNER YUIRY
,
COUMOU DAVID J
,
GILL DANIEL M
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5
Supervisory control of radio frequency (RF) impedance tuning operation
von
ELNER, YUIRY
,
COUMOU, DAVID J
,
GILL, DANIEL M
,
REINHARDT, ROSS
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6
Unified RF power delivery single input, multiple output control for continuous and pulse mode operation
von
ELNER, YUIRY
,
COUMOU, DAVID J
,
GILL, DANIEL M
,
REINHARDT, ROSS
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Patent
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7
Feedback Control By Rf Waveform Tailoring For Ion Energy Distribution
von
REINHARDT ROSS
,
ELNER YUIRY
,
PHAM RICHARD
,
COUMOU DAVID J
,
GILL DANIEL M
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Patent
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Esp@Cenet
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