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PHOTO-AND ELECTRON RESIST
von
MOLODNYAKOV SERGEI PETROVICH
,
BIRJUKOVA TAMARA GRIGORIEVNA
,
FEDOROV JURY IVANOVICH
,
RAZUVAEV GRIGORY ALEXEEVICH
,
KUZNETSOV VITALY ALEXEEVICH
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Light-sensitive layer contg. complex-forming additive - eliminating luminescence during exposure and increasing stability
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SERGEI PETROVICH MOLODNYAKOV, JURY IVANOVICH FEDOROV, VITALY ALEXEEVICH KUZNETSOV, ALEXEI NIKOLAEVICH EGOROCHKIN, TAMARA GRIGORIEVNA BIRJUKOVA ET GRIGORY ALEXEEVICH RAZUVAEV
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