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    HIGH-TEMPERATURE CATHODE FOR PLASMA ETCHING

    HIGH-TEMPERATURE CATHODE FOR PLASMA ETCHING von EGAMI GLEN E, MATYUSHKIN ALEXANDER, KOOSAU DENIS M, YENDLER BORIS S

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    High temperature cathode for plasma etching von YENDLER, BORIS S, EGAMI, GLEN E, MATYUSHKIN, ALEXANDER, KOOSAU, DENNIS M

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