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Glow-discharge ion-sorption micropump for vacuum MEMS
Veröffentlicht in Sensors and actuators. A. Physical.
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MEMS ion-sorption high vacuum pump
Veröffentlicht in Journal of physics. Conference series
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Optical detection system for MEMS-type pressure sensor
Veröffentlicht in Journal of micromechanics and microengineering
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MEMS ion source for mass spectrometer integrated on a chip
Veröffentlicht in Journal of physics. Conference series
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