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    The formation of Ti x N y and Ta x N y -based diffusion barriers

    The formation of Ti x N y and Ta x N y -based diffusion barriers von Nussupov, K.Kh, Beisenkhanov, N.B., Beisembetov, I.K., Kenzhaliev, B.K., Seitov, B.Zh, Dulatuly, E., Bakranova, D.I.

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    The formation of TixNy and TaxNy-based diffusion barriers

    The formation of TixNy and TaxNy-based diffusion barriers von Nussupov, K.Kh, Beisenkhanov, N.B., Beisembetov, I.K., Kenzhaliev, B.K., Seitov, B.Zh, Dulatuly, E., Bakranova, D.I.


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