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An in-plane thermal unimorph using confined polymers
Veröffentlicht in Journal of micromechanics and microengineering
VolltextArtikel -
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Polymer constraint effect for electrothermal bimorph microactuators
Veröffentlicht in Applied physics letters
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Powerful polymeric thermal microactuator with embedded silicon microstructure
Veröffentlicht in Applied physics letters
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Piezoresistive Cantilever Beam for Force Sensing | in Two Dimensions
Veröffentlicht in IEEE sensors journal
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Powerful polymeric thermal microactuator with embeddedsilicon microstructure
Veröffentlicht in Applied physics letters
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Piezoresistive Cantilever Beam for Force Sensingin Two Dimensions
Veröffentlicht in IEEE sensors journal
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