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    Polishing Characteristics of MnO2 Polishing Slurry on the Si-face of SiC Wafer

    Polishing Characteristics of MnO2 Polishing Slurry on the Si-face of SiC Wafer von Yin, Tao, Doi, Tosiro, Kurokawa, Syuhei, Zhou, Zhao zhong, Feng, Kai ping


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