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    A global model study of silane/hydrogen discharges

    A global model study of silane/hydrogen discharges von Danko, Stephan, Bluhm, Dirk, Bolsinger, Valentin, Dobrygin, Wladislaw, Schmidt, Oliver, Brinkmann, Ralf Peter


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    IMPROVED GUIDANCE OF IONS FROM A PLASMA TO A SUBSTRATE TO BE COATED

    IMPROVED GUIDANCE OF IONS FROM A PLASMA TO A SUBSTRATE TO BE COATED von Dobrygin, Wladislaw, Schmidt, Oliver, Guenther, Marcus

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    IMPROVED GUIDANCE OF IONS FROM A PLASMA TO A SUBSTRATE TO BE COATED

    IMPROVED GUIDANCE OF IONS FROM A PLASMA TO A SUBSTRATE TO BE COATED von DOBRYGIN, Wladislaw, GUENTHER, Marcus, SCHMIDT, Oliver

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    Improved guidance of ions from a plasma to a substrate to be coated

    Improved guidance of ions from a plasma to a substrate to be coated von DOBRYGIN WLADISLAW, SCHMIDT OLIVER, GUENTHER MARCUS

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    IMPROVED GUIDANCE OF IONS FROM A PLASMA TO A SUBSTRATE TO BE COATED

    IMPROVED GUIDANCE OF IONS FROM A PLASMA TO A SUBSTRATE TO BE COATED von DOBRYGIN, Wladislaw, GUENTHER, Marcus, SCHMIDT, Oliver

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    Verbesserte Lenkung von Ionen aus einem Plasma auf ein zu beschichtendes Substrat

    Verbesserte Lenkung von Ionen aus einem Plasma auf ein zu beschichtendes Substrat von Dobrygin, Wladislaw, Schmidt, Oliver, Guenther, Marcus

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