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Deposition of CeO2 Films on Si(100) Substrates by Electron Beam Evaporation
von
Djanovski, Georgi
,
Beshkova, Milena
,
Velinova, Sonia
,
Mollov, Dimitar
,
Vlaev, Petko
,
Kovacheva, Daniela
,
Vutova, Katia
,
Mladenov, Georgi
Veröffentlicht in
Plasma processes and polymers
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