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Fabrication of thin buried CoSi 2 layers in Si(100) by ion beam synthesis
Veröffentlicht in Thin solid films
VolltextArtikel -
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Fabrication of thin buried CoSi2 layers in Si(100) by ion beam synthesis
Veröffentlicht in Thin solid films
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Buried single-crystal CoSi2 layers in SiGe alloys made by ion beam synthesis
Veröffentlicht in Applied physics letters
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