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Nanoparticle Liquids for Surface Modification and Lubrication of MEMS Switch Contacts
von
Patton, S.T.
,
Voevodin, A.A.
,
Vaia, R.A.
,
Pender, M.
,
Diamanti, S.J.
,
Phillips, B.
Veröffentlicht in
Journal of microelectromechanical systems
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