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Photolithographic processing of hybrid glasses for microoptics
Veröffentlicht in Journal of lightwave technology
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Imaging quality assessment of multi-modal miniature microscope
Veröffentlicht in Optics express
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Direct UV patterning of thick hybrid glass filmsfor micro-opto-mechanical structures
Veröffentlicht in Electronics letters
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Microtags with 150-nm line gratings fabricated by use of extreme-ultraviolet lithography
Veröffentlicht in Optics letters
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Mass-producible microscopic computer-generated holograms: microtags
Veröffentlicht in Optics letters
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