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Performance impact of monolayer coating of polysilicon micromotors
Veröffentlicht in Journal of the Electrochemical Society
VolltextArtikel -
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Static friction of diamond-like carbon film in MEMS
Veröffentlicht in Sensors and actuators. A. Physical.
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Micromotor dynamics in lubricating fluids
Veröffentlicht in Journal of micromechanics and microengineering
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Outer-rotor polysilicon wobble micromotors
Veröffentlicht in Sensors and actuators. A. Physical.
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