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Etching yields of SiO2 by low energy CFx+ and F+ ions
Veröffentlicht in Applied physics letters
VolltextArtikel -
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The Effect of Gas Plasma Irradiation on Transistor
Veröffentlicht in Japanese Journal of Applied Physics
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Compensation Effect of GaAs Junction Lasers
Veröffentlicht in Japanese Journal of Applied Physics
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Etching yields of SiO2 by low energy CF x + and F+ ions
Veröffentlicht in Applied physics letters
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