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Infrared molar absorption coefficient of H2O stretching modes in SiO2
Veröffentlicht in Thin solid films
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Molecular hydrogen formation in hydrogenated silicon nitride
Veröffentlicht in Applied physics letters
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Requirements of PECVD SiNx:H layers for bulk passivation of mc-Si
Veröffentlicht in Solar energy materials and solar cells
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High temperature line electrode assembly for continuous substrate flow VHF PECVD
Veröffentlicht in Thin solid films
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