-
1
-
2
Metal gate work function tuning by Al incorporation in TiN
Veröffentlicht in Journal of applied physics
VolltextArtikel -
3
-
4
-
5
-
6
Infrared molar absorption coefficient of H2O stretching modes in SiO2
Veröffentlicht in Thin solid films
VolltextArtikel -
7
-
8
-
9
Molecular hydrogen formation in hydrogenated silicon nitride
Veröffentlicht in Applied physics letters
VolltextArtikel -
10
-
11
Requirements of PECVD SiNx:H layers for bulk passivation of mc-Si
Veröffentlicht in Solar energy materials and solar cells
VolltextArtikel -
12
-
13
-
14
Origin of visible luminescence in hydrogenated amorphous silicon nitride
Veröffentlicht in Applied physics letters
VolltextArtikel -
15
High temperature line electrode assembly for continuous substrate flow VHF PECVD
Veröffentlicht in Thin solid films
VolltextArtikel -
16
-
17
-
18
-
19
-
20