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Printed circuit board technology inspired stretchable circuits
Veröffentlicht in MRS bulletin
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Creep-resistant aluminum alloys for use in MEMS
Veröffentlicht in Journal of micromechanics and microengineering
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Materials issues in the processing, the operation and the reliability of MEMS
Veröffentlicht in Microelectronic engineering
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A physical model to predict stiction in MEMS
Veröffentlicht in Journal of micromechanics and microengineering
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Creep characterization of Al alloy thin films for use in MEMS applications
Veröffentlicht in Microelectronic engineering
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