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Wet etching of TiN in 1-D and 2-D confined nano-spaces of FinFET transistors
Veröffentlicht in Microelectronic engineering
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Wet Chemical Recess Etching of Ge2Sb2Te5 for 3D PCRAM Memory Applications
Veröffentlicht in ECS transactions
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Wet Chemical Recess Etching of Ge 2 Sb 2 Te 5 for 3D PCRAM Memory Applications
Veröffentlicht in ECS transactions
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