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AFM lithography of aluminum for fabrication of nanomechanical systems
Veröffentlicht in Ultramicroscopy
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On the electromechanical modelling of a resonating nano-cantilever-based transducer
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Atomic force microscope characterization of a resonating nanocantilever
Veröffentlicht in Ultramicroscopy
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Dry release of suspended nanostructures
Veröffentlicht in Microelectronic engineering
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Dry release of suspended nanostructures
Veröffentlicht in Microelectronic engineering
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