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The preparation, characterization and application of plasma-enhanced chemically vapour deposited silicon nitride films deposited at low temperatures
von
Lee, Joseph Ya-Min
,
Sooriakumar, K.
,
Dange, Mandar M.
Veröffentlicht in
Thin solid films
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A novel lift-off process using low-temperature PECVD silicon nitride for the fabrication of self-aligned gate GaAs MESFETs and InP MISFETs
von
Lee, Joseph Ya-min
,
Dange, Mandar M.
,
Sooriakumar, K.
Veröffentlicht in
Microelectronic engineering
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Yield improvement techniques through layout optimization
von
DANGE
,
MANDAR M
,
SUGASAWARA
,
EMERY O
,
GOURAVARAM
,
SUDHAKAR R
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Patent
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Engineering
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Engineering, Electrical & Electronic
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Gaas Mesfet
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Erscheinungsjahr
Von:
Bis:
Quelle
Ingenta Connect
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Elsevier Sciencedirect Journals Complete
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Sd College Edition Journals Collection - Physical Sciences [Scps]
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Esp@Cenet
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Ingentaconnect Journals
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