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Three-dimensional silicon micromachining
Veröffentlicht in Journal of micromechanics and microengineering
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Fabrication of silicon molds with multi-level, non-planar, micro- and nano-scale features
Veröffentlicht in Nanotechnology
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A study of buried channel formation in oxidized porous silicon
Veröffentlicht in RSC advances
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Influence of the narrow {111} planes on axial and planar ion channeling
Veröffentlicht in Physical review letters
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Oxidation smoothening of silicon machined micro- and nano-scale structures
Veröffentlicht in Microelectronic engineering
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Defect enhanced funneling of diffusion current in silicon
Veröffentlicht in Applied physics letters
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Fabrication of large-area ultra-thin single crystal silicon membranes
Veröffentlicht in Applied physics letters
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