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Hollow cathode system, device and method for the plasma-assisted treatment of substrates
von
SCHADE KLAUS
,
STAHR FRANK
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DYBEK KONRAD
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HOLLOW CATHODE SYSTEM, DEVICE AND METHOD FOR THE PLASMA-ASSISTED TREATMENT OF SUBSTRATES
von
SCHADE KLAUS
,
STAHR FRANK
,
DYBEK KONRAD
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Hohlkathodensystem, Vorrichtung und Verfahren zur plasmagestützten Behandlung von Substraten
von
STAHR, FRANK
,
SCHADE, KLAUS
,
DYBEK, KONRAD
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Substrate processing system useful for plasma assisted treatment of plate-shaped substrates in the vacuum after the continuous flow principle, comprises one vacuum chamber with a t...
von
HEISIG, ANDREAS
,
DYBEK, KONRAD
,
LAESSIG, ROLAND
,
PALME, JENS
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Substrate holder useful for a substrate treatment system, comprises a flat frame with a substrate reception for the substrate to be treated, and contacting unit for electrical cont...
von
DYBEK, KONRAD
,
STEPHAN, ULF
,
LAESSIG, ROLAND
,
PALME, JENS
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Vorrichtung zur plasmagestützten Bearbeitung von Substraten
von
STEINKE, OLAFF
,
STAHR, FRANK
,
SCHADE, KLAUS, DR
,
DYBEK, KONRAD
,
HARTUNG, JOHANNES
,
PALME, JENS
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Device useful for plasma-assisted substrate treatment, comprises a hollow-cathode electrode, a transport device for a substrate in a relative motion to each other, a gas inlet syst...
von
STEINKE, OLAFF
,
STAHR, FRANK
,
SCHADE, KLAUS, DR
,
DYBEK, KONRAD
,
HARTUNG, JOHANNES
,
PALME, JENS
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Esp@Cenet
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