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Initial growth processes in the epitaxy of Ge with GeH4 on oxidized Si substrates
von
ANGERMEIER, D
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KUHN, W. S
,
DRUIHLE, R
,
BALLUTAUD, D
,
TRIBOULET, R
,
GEBHARDT, W
Veröffentlicht in
Journal of the Electrochemical Society
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ChemInform Abstract: Initial Growth Processes in the Epitaxy of Ge with GeH4 on Oxidized Si Substrates
von
ANGERMEIER, D.
,
KUHN, W. S.
,
DRUIHLE, R.
,
BALLUTAUD, D.
,
TRIBOULET, R.
,
GEBHARDT, W.
Veröffentlicht in
ChemInform
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