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Verfahren zur Ausbildung einer Öffnung für einen Kontakt in einem Halbleiterbauelement sowie zugehörige Halbleiterbauelementstruktur
von
YU, CHIENFAN
,
BENEDICT, JOHN
,
FALTERMEIER, JOHNATHAN E
,
DEV, PRAKASH C
,
RUPP, THOMAS
,
MALDEI, MICHAEL
,
RENGARAJAN, RAJESH
,
NAEEM, MUNIR-UD-DIN
,
DOBUZINSKI, DAVID M
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2
Method for reducing stress in metallization of an integrated circuit
von
ECONOMIKOS, LAERTIS
,
CONTI, RICHARD A
,
NARAYAN, CHANDRASEKHAR
,
HOH, PETER D
,
ARNDT, KENNETH C
,
GAMBINO, JEFFREY P
,
DOBUZINSKI, DAVID M
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Method for reducing stress in metallization of an integrated circuit
von
ECONOMIKOS, LAERTIS
,
CONTI, RICHARD A
,
NARAYAN, CHANDRASEKHAR
,
HOH, PETER D
,
ARNDT, KENNETH C
,
GAMBINO, JEFFREY P
,
DOBUZINSKI, DAVID M
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PROCESS FOR THE VAPOR DEPOSITION OF POLYSILANES
von
HOLMES, STEVEN J
,
HORAK, DAVID V
,
HAKEY, MARK C
,
DOBUZINSKI, DAVID M
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Patent
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5
Verfahren zur Ausbildung einer Öffnung für einen Kontakt in einem Halbleiterbauelement
von
YU, CHIENFAN
,
BENEDICT, JOHN
,
FALTERMEIER, JOHNATHAN E
,
DEV, PRAKASH C
,
RUPP, THOMAS
,
MALDEI, MICHAEL
,
RENGARAJAN, RAJESH
,
NAEEM, MUNIR-UD-DIN
,
DOBUZINSKI, DAVID M
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Esp@Cenet
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