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Wafer handling robot with radial gas curtain and/or interior volume control
von
Ditmore, Charles N
,
Blank, Richard M
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WAFER HANDLING ROBOT WITH RADIAL GAS CURTAIN AND/OR INTERIOR VOLUME CONTROL
von
Ditmore, Charles N
,
Blank, Richard M
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BLADE-TYPE END EFFECTOR WITH ANGULAR COMPLIANCE MECHANISM
von
Senn, Brandon Lee
,
Ditmore, Charles N
,
Embertson, Ross C
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BLADE-TYPE END EFFECTOR WITH ANGULAR COMPLIANCE MECHANISM
von
SENN, Brandon Lee
,
EMBERTSON, Ross C
,
DITMORE, Charles N
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5
WAFER HANDLING ROBOT WITH RADIAL GAS CURTAIN AND/OR INTERIOR VOLUME CONTROL
von
BLANK, Richard M
,
DITMORE, Charles N
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6
END EFFECTOR PAD DESIGN FOR BOWED WAFERS
von
Chen, Melinda P
,
Vaughn, Gregory Alan
,
Ditmore, Charles N
,
Britcher, Eric Bramwell
,
Mack, Ryan Louis
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7
BLADE-TYPE END EFFECTOR WITH ANGULAR COMPLIANCE MECHANISM
von
SENN, Brandon Lee
,
EMBERTSON, Ross C
,
DITMORE, Charles N
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8
END EFFECTOR PAD DESIGN FOR BOWED WAFERS
von
VAUGHN, Gregory Alan
,
CHEN, Melinda P
,
BRITCHER, Eric Bramwell
,
MACK, Ryan Louis
,
DITMORE, Charles N
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방사상 가스 커튼 및/또는 내부 볼륨 제어를 갖는 웨이퍼 핸들링 로봇
von
DITMORE CHARLES N
,
BLANK RICHARD M
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각도 컴플라이언스 메커니즘을 갖는 블레이드-타입 엔드 이펙터
von
DITMORE CHARLES N
,
SENN BRANDON LEE
,
EMBERTSON ROSS C
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11
Wafer handling robot with radial gas curtain and/or interior volume control
von
BLANK, RICHARD M
,
DITMORE, CHARLES N
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Patent
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12
Blade-type end effector with angular compliance mechanism
von
EMBERTSON, ROSS C
,
SENN, BRANDON LEE
,
DITMORE, CHARLES N
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보우 웨이퍼들을 위한 엔드 이펙터 패드 설계
von
BRITCHER ERIC BRAMWELL
,
DITMORE CHARLES N
,
MACK RYAN LOUIS
,
CHEN MELINDA P
,
VAUGHN GREGORY ALAN
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14
End effector pad design for bowed wafers
von
BRITCHER, ERIC BRAMWELL
,
DITMORE, CHARLES N
,
VAUGHN, GREGORY ALAN
,
CHEN, MELINDA P
,
MACK, RYAN LOUIS
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Patent
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