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ATOMIC LAYER DEPOSITION PART COATING CHAMBER
von
DHARMAPURA SATHYANARAYANAMURTHY, Sriharsha
,
SHANMUGASUNDARAM, Manojkumar
,
PANAVALAPPIL KUMARANKUTTY, Hanish Kumar
,
SHANMUGAM, Kirubanandan Naina
,
SRINIVASAN, Sriharish
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ATOMIC LAYER DEPOSITION PART COATING CHAMBER
von
DHARMAPURA SATHYANARAYANAMURTHY, Sriharsha
,
SHANMUGASUNDARAM, Manojkumar
,
PANAVALAPPIL KUMARANKUTTY, Hanish Kumar
,
SHANMUGAM, Kirubanandan Naina
,
SRINIVASAN, Sriharish
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3
HEATED LID FOR A PROCESS CHAMBER
von
DHARMAPURA SATHYANARAYANAMURTHY, Sriharsha
,
KRISHNA, Madhukar
,
HIREMATH, Shivaprakash Padadayya
,
PANAVALAPPIL KUMARANKUTTY, Hanish Kumar
,
SHANMUGAM, Kirubanandan Naina
,
SRINIVASAN, Sriharish
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Patent
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4
HEATED LID FOR A PROCESS CHAMBER
von
DHARMAPURA SATHYANARAYANAMURTHY, Sriharsha
,
KRISHNA, Madhukar
,
HIREMATH, Shivaprakash Padadayya
,
PANAVALAPPIL KUMARANKUTTY, Hanish Kumar
,
SHANMUGAM, Kirubanandan Naina
,
SRINIVASAN, Sriharish
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5
Atomic layer deposition part coating chamber
von
Krishna, Madhukar
,
Panavalappil Kumarankutty, Hanish Kumar
,
Dharmapura Sathyanarayanamurthy, Sriharsha
,
Nattamai Subramanian, Senthil Kumar
,
Rice, Michael R
,
Shanmugam, Kirubanandan Naina
,
Marcus, Steven D
,
Cherubala Pathayapura, Sankar Menon
,
Hiremath, Shivaprakash Padadayya
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6
ATOMIC LAYER DEPOSITION PART COATING CHAMBER
von
NATTAMAI SUBRAMANIAN, Senthil Kumar
,
CHERUBALA PATHAYAPURA, Sankar Menon
,
DHARMAPURA SATHYANARAYANAMURTHY, Sriharsha
,
MARCUS, Steven D
,
RICE, Michael R
,
KRISHNA, Madhukar
,
HIREMATH, Shivaprakash Padadayya
,
PANAVALAPPIL KUMARANKUTTY, Hanish Kumar
,
SHANMUGAM, Kirubanandan Naina
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7
ATOMIC LAYER DEPOSITION PART COATING CHAMBER
von
NATTAMAI SUBRAMANIAN, Senthil Kumar
,
CHERUBALA PATHAYAPURA, Sankar Menon
,
DHARMAPURA SATHYANARAYANAMURTHY, Sriharsha
,
MARCUS, Steven D
,
RICE, Michael R
,
KRISHNA, Madhukar
,
HIREMATH, Shivaprakash Padadayya
,
PANAVALAPPIL KUMARANKUTTY, Hanish Kumar
,
SHANMUGAM, Kirubanandan Naina
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8
프로세스 챔버용 가열 덮개
von
DHARMAPURA SATHYANARAYANAMURTHY SRIHARSHA
,
HIREMATH SHIVAPRAKASH PADADAYYA
,
SRINIVASAN SRIHARISH
,
SHANMUGAM KIRUBANANDAN NAINA
,
KRISHNA MADHUKAR
,
PANAVALAPPIL KUMARANKUTTY HANISH KUMAR
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9
Heated lid for a process chamber
von
HIREMATH, SHIVAPRAKASH PADADAYYA
,
PANAVALAPPIL KUMARANKUTTY, HANISH KUMAR
,
SRINIVASAN, SRIHARISH
,
SHANMUGAM, KIRUBANANDAN NAINA
,
KRISHNA, MADHUKAR
,
DHARMAPURA SATHYANARAYANAMURTHY, SRIHARSHA
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10
원자 층 증착 부품 코팅 챔버
von
DHARMAPURA SATHYANARAYANAMURTHY SRIHARSHA
,
CHERUBALA PATHAYAPURA SANKAR MENON
,
MARCUS STEVEN D
,
HIREMATH SHIVAPRAKASH PADADAYYA
,
SHANMUGAM KIRUBANANDAN NAINA
,
KRISHNA MADHUKAR
,
RICE MICHAEL R
,
NATTAMAI SUBRAMANIAN SENTHIL KUMAR
,
PANAVALAPPIL KUMARANKUTTY HANISH KUMAR
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Patent
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11
Atomic layer deposition part coating chamber
von
HIREMATH, SHIVAPRAKASH PADADAYYA
,
PANAVALAPPIL KUMARANKUTTY, HANISH KUMAR
,
MARCUS, STEVEN D
,
RICE, MICHAEL R
,
CHERUBALA PATHAYAPURA, SANKAR MENON
,
SHANMUGAM, KIRUBANANDAN NAINA
,
NATTAMAI SUBRAMANIAN, SENTHIL KUMAR
,
KRISHNA, MADHUKAR
,
DHARMAPURA SATHYANARAYANAMURTHY, SRIHARSHA
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