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Capacitor contact formed concurrently with bond pad metallization
von
WILLIAMS BYRON LOVELL
,
CLARK STEPHEN FREDRICK
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LIPPITT, III MAXWELL WALTHOUR
,
STRINGER LEE ALAN
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CAPACITOR CONTACT FORMED CONCURRENTLY WITH BOND PAD METALLIZATION
von
WILLIAMS BYRON LOVELL
,
CLARK STEPHEN FREDRICK
,
DEBNAM, II FRED PERCY
,
MEISNER STEPHEN ARLON
,
LIPPITT, III MAXWELL WALTHOUR
,
STRINGER LEE ALAN
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Semiconductor Devices
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Esp@Cenet
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