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Resonant PZT MEMS Scanner for High-Resolution Displays
Veröffentlicht in Journal of microelectromechanical systems
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Linear-Stiffness Rotary MEMS Stage
Veröffentlicht in Journal of microelectromechanical systems
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On the Nonlinear Dynamics of Tether Suspensions for MEMS
Veröffentlicht in Journal of vibration and acoustics
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Induced Resonance Comb Drive Scanner
Veröffentlicht in The Journal of the Acoustical Society of America
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