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Microstructural and electrical properties of heat treated resistive Ti/Pt thin layers
Veröffentlicht in Thin solid films
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Oscillating thermal switch using electrostatic forces
Veröffentlicht in Journal of physics. Conference series
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Characterization of sputter deposited Au/Ni/Al multilayers on Si substrates
Veröffentlicht in Vacuum
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Investigation of interface properties of Ti/Ni/Ag thin films on Si substrate
Veröffentlicht in Vacuum
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Mechanical stress in thin film microstructures on silicon substrate
Veröffentlicht in Vacuum
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A strip-type microthrottle pump: modeling, design and fabrication
Veröffentlicht in Sensors (Basel, Switzerland)
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