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Long‐Term Stability and Oxidation of Ferroelectric AlScN Devices: An Operando Hard X‐ray Photoelectron Spectroscopy Study
von
Rehm, Oliver
,
Baumgarten, Lutz
,
Guido, Roberto
,
Düring, Pia Maria
,
Gloskovskii, Andrei
,
Schlueter, Christoph
,
Mikolajick, Thomas
,
Schroeder, Uwe
,
Müller, Martina
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Physica status solidi. PSS-RRL. Rapid research letters
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Long-term stability and oxidation of ferroelectric AlScN devices: An operando HAXPES study
von
Rehm, Oliver
,
Baumgarten, Lutz
,
Guido, Roberto
,
Düring, Pia Maria
,
Gloskovskii, Andrei
,
Schlueter, Christoph
,
Mikolajick, Thomas
,
Schroeder, Uwe
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Rehm, Oliver
,
Baumgarten, Lutz
,
Guido, Roberto
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Düring, Pia Maria
,
Gloskovskii, Andrei
,
Schlueter, Christoph
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