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Scaling electromechanical sensors down to the nanoscale
Veröffentlicht in Sensors and actuators. A. Physical.
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Design of a six-axis micro-scale nanopositioner—μHexFlex
Veröffentlicht in Precision engineering
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Actuators for Micropositioners and Nanopositioners
Veröffentlicht in Applied mechanics reviews
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Design of piezoresistive-based MEMS sensor systems for precision microsystems
Veröffentlicht in Precision engineering
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